ITO靶材主要质量指标
化学成分:In2O3 :SnO2=90:10(wt%)
纯度≥99.99%
相对密度>99%
密度均匀性偏差≤ ±0.2%
相结构:单一立方In2O3相
纯度≥99.99%
相对密度>99%
密度均匀性偏差≤ ±0.2%
相结构:单一立方In2O3相
失氧率≤2%
单片最大尺寸:300mm x 400mm,厚度可按用户要求任意
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ITO靶材
详细信息 ITO靶材主要质量指标 化学成分:In2O3 :SnO2=90:10(wt%)
纯度≥99.99% 相对密度>99% 密度均匀性偏差≤ ±0.2% 相结构:单一立方In2O3相 失氧率≤2%
单片最大尺寸:300mm x 400mm,厚度可按用户要求任意 共0条 相关评论 |