当前主要通过氢氟酸与玻璃基板的玻璃SiO2(二氧化硅)材质化学反应,腐蚀去除来实现厚度薄化(减薄工艺请参考《TFT-LCD液晶面板薄化工艺原理和流程》),减薄面板的需求也从过去TFT-LCD液晶面板到现在日趋流行OLED面板显示等等。
目前主流的减薄技术,有浸泡式、顶喷式和瀑布流式的单面和双面减薄,由于减薄使用的是氢氟酸,容易对显示面板的端子和电子线路板等有一定损坏,在减薄过程中若无有效保护,将导致显示面板或玻璃基板的不良,甚至报废。因此在薄化行业进行减薄过程中通常使用专业抗酸膜对无需减薄腐蚀部分等进行保护,防止减薄时的氢氟酸腐蚀或者渗入面板或玻璃基板。
由于减薄使用氢氟酸腐蚀特性,对此业界对采用的抗酸膜也提出相应的要求。近日苏州美力美公司拿到一些硕成集团生产的减薄专用抗酸膜资料,通过对其产品结构和特性了解分析,仅供大家一些参考。
蚀刻减薄中抗酸膜的应用
抗酸膜在蚀刻减薄过程中主要起着保护蚀刻产品不被氢氟酸腐蚀作用。像这样过程,通常是单面蚀刻的作业要求。单面蚀刻减薄设备技术,现在主要有瀑布流式和喷淋式(顶喷)。目前OLED面板的减薄,通常是采用喷淋式的蚀刻减薄设备。
单面蚀刻中抗酸保护膜的粘贴
主要设备和材料
专用蚀刻减薄抗酸膜
美力美专业贴膜机
其他:隔层纸和JIG板等
美力美抗酸膜覆膜机
OLED面板减薄应用
蚀刻减薄中抗酸膜的使用要求
抗酸膜主要基材
一般是以明兰聚乙烯膜为基材的橡胶系压敏胶;
耐酸蚀要求(性能要求)
抗酸性:能够在HF、HNO3、HCL等混合酸下喷淋200min以上仍保持抗酸性;
粘性:能够HF、HNO3、HCL等混合酸下喷淋200min以上喷淋过程中,不发生脱落;
美力美抗酸膜覆膜机特性 Feature
贴合胶层涂布均匀,撕胶后无残留
不同规格粘性的胶带在常规作业条件下生产、使用,不会造成渗酸
无刺激性气味
抗酸性:能够在HF、HNO3、HCL等混合酸下喷淋200min以上仍保持抗酸性。
粘性:能够在HF、HNO3、HCL等混合酸下喷淋200min以上喷淋过程中,不发生脱落。
适用范围 Applications
适用于印刷线路板制造行业、玻璃减薄行业、平面显示器制造行业和不锈钢板加工行业的材料表面保护,防止运输或制程中的表面损坏或污染等。