采用磁控溅射法所生产的导电膜玻璃可根据电池膜层的光透过需求自由选配,可采用普通、超白或特种玻璃原片进行磁控溅射成膜, 并根据客户要求的膜厚、电阻、表面结构等进行沉积,而对于在线喷雾热解法生产的FTO(掺氟的SnO2:F导电玻璃)等产品无法根据客户需求订制参数;另外,磁控溅射法所生产的TCO产品可以先进行钢化成型再镀膜,不仅具有更好的平整度,更可提供高强度的保障,为BIPV的应用创造了更佳的前提条件。
目前在线法生产的导电玻璃表面方块电阻在13Ω左右,而高档的离线生产的AZO玻璃的面电阻蚀刻前仅8Ω,而蚀刻后更可达到10Ω左右,这就是磁控溅射法生产AZO膜玻璃的主要优势所在。采用连续式溅射生产线所生产的高档TCO最终可将产品弓形弯曲控制在≤0.3%,波形度在≤0.08%(0.24/300mm),唯有这样的平整度才能够保证激光刻线的线宽均匀性及夹层后更好的密封性能。