简析平板镀膜耐候性问题

      与国外95％以上吸收率和5％以下发射率相比，虽然国内很多公司号称吸收率可以做到93％发射率可以做到7％以下，但是从我与一些企业合作过程中发现，这些性能仅限于他们的最高指标，且镀膜过程稳定性不好。究其原因，我想从设备和工艺两方面谈谈对光学性能的影响，另外简单探讨下耐候性问题。

      平板镀膜，其膜层结构是一种多层膜结构，基底上依次镀上金属膜、金属-陶瓷吸收膜和减反射膜。金属镀膜非常容易，而镀金属陶瓷吸收膜和减反射膜，对设备和工艺都有特定的要求。以平板为例，目前市场上存在两种产品：蓝钛（TiON）和黑镍、铬（CrNiON）。个人认为蓝钛产品耐候性会更好点，这与材料有关，因为CrO热稳定性相对比较差。对于这些氮氧化物的镀膜，往往是通入Ar/O/N三种气体，其中Ar起到溅射出粒子的作用，而N/O气体起到与溅射出来的粒子反应作用，生成需要的氮氧化物吸收层。对于蓝钛镀膜来说，这种靶材比较容易中毒，使得沉积工艺不稳定。这与腔体内部通入气体和抽出气体有关，如果气氛不均匀、不稳定，那无法保证整个平板镀膜均匀性，另外工艺上很多厂家对气氛输入的大小和比例，也没有进行充分的优化，使得膜层性能相对较低。一般来讲膜层在确定材料之后，与膜层的厚度和化学元素比例有关。

　　耐候性也是产品一个非常重要的性能，使用时间越长、衰减越小，产品的性价比越高。国内很多企业需要认识到清洗的重要性，成分清洁的表面是成膜牢固的充分但不必要条件。板块清洗好了之后，在进入镀膜腔体也需要保证不会被污染。镀膜之后的处理也很重要，可能很多厂家在镀膜之后，板块往往就开始进行后道工艺处理，实际上镀膜之后的热处理非常有必要，当然对于不同板材和镀膜材料来说，热处理温度不尽相同。

　　现在对于平板需求，市场空间很大，但是我们希望企业做出来的产品性能优越，至少在寿命上能达到数十年，否则对于整个行业的发展也是不利的。