光伏篇：薄膜太阳能电池用TCO玻璃的工艺研究和应用

核心提示：摘 要 随着国家新能源政策的实施，薄膜太阳能电池必将得到更大的发展。提高薄膜太阳能电池效率的一个关键环节是作为前电极和背电极的透明导电膜（TCO）的性能。本文论述了目前常用的FTO(氧化锡掺氟)和正在投入工业化生产的AZO（氧化锌掺铝）这两种TCO的性能特点，适用的生产工艺及应用范围。作者认为：AZO具有优越的性能和可大面积制备的工艺（磁控溅射法），是未来理想的应用于薄膜太阳能电池的TCO材料。