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加工篇：浅析磁控溅射制备AZO薄膜技术及影响因素

发布日期：2012-06-29 浏览次数：72

核心提示：摘要本文从磁控溅射原理、靶材与镀膜方式的选择等方面阐述了AZO膜的制备方法，探讨了影响AZO薄膜电学性能的因素及变化规律、AZO薄膜的光学特征及其影响因素，对于AZO薄膜商业化面临的问题给出了作者的看法。

浅析磁控溅射制备AZO薄膜技术及影响因素.pdf

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