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加工篇：氧化物溅射工艺的稳定性控制

放大字体 缩小字体 发布日期：2012-07-03 浏览次数：52
核心提示：摘 要 通过生产过程中靶材反应“金属模式”和“氧化物模式”的转换区域控制点的分析。结合氧分压控制技术，均匀性控制技术和中频双阴极技术的使用，可以使得氧化物溅射工艺的均匀性，稳定性比DC溅射技术更容易得到控制，而且可以得到更高溅射速率的膜层。
   氧化物溅射工艺的稳定性控制.pdf
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