主要技术参数:
1. 极限真空度:8.0x10-4Pa;
2. 工作真空度:6.67x10-3Pa;
3. 抽速:从大气抽至6.67x10-3Pa,<15分钟;
4. 压升率:0.5Pa/小时;
5. 自转轴中心距:210mm;
6. 工位:20个(工件架最大自转半径为180mm);
7. 电气控制系统:PLC全自动控制,可动行多种工艺设置。
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