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外延石英钟罩清洗机
※ 名称：外延石英钟罩清洗机;
※ 控制模式: 手动控制模式 自动控制模式;
※ 清洗能力: 1）9010mm*1170mm 2) 471mm*155mm 3) 1200mm* Φ417mm 4）900mm石英件等 1件/批；
※ 设备形式: 室内放置型;
※ 机台总体结构定分为两部分；机台前方为清洗工作区域，机台后上方为电器和气路布置区域，后下方为液路布置区域，清洗台设有记忆模块;
※ 可根据需要定时定量补充槽体药液;
※ 工艺参数（温度，时间，DIW水清洗模式、时间可调）手动由触摸屏界面可设定;
※ 设备台面排列为单排多工位，布局按用户要求。
