全自动高温蚀刻台

清洗规格为2 inch ,2cassette/Batch, 25 Pcs/cassette；4 inch，1 cassette/ Batch，25 Pcs/cassette；热酸排放制程10min左右完成，加热模组可加热至600℃；全程自动化控制，几何曲线加减速运动，冲击小、运动平稳，机械臂定位精度高，并可选配进口自动灭火系统；分体式CDS自动供液系统；尾气 Scrubber系统；各方面技术均为国内首创，满足了飞速发展的LED产业需要，实现了产品的自主创新和技术进步。       至此，CGB公司成为目前国内大陆唯一一家能够成功研制高温湿法蚀刻设备并正式投放到大型生产线的制造企业，填补了国产设备在LED高温制程生产工艺领域的空白。