全自动KOH刻蚀清洗机
槽体名称 材质 数量内 槽 尺 寸
槽体名称 材质 数量内 槽 尺 寸
KOH PTFE 1 300WX500DX270H/mm
QDR QDR 1 300WX500DX270H/mm
QDR NPP 1 220WX220DX200H/mm
H2SO4 石英 1 220WX220DX200H/mm
IPA SUS316 石英 2 220WX220DX200H/mm
机台尺寸 2500mmW*1490mmD*2000mmH
骨 架 方钢喷塑处理 1套 40mmX40mm
外 壳 德国进口磁白PP板 1套 雕刻后组合焊接
门 型 式 正面作业区采用上下推拉门方式
管路系统 位于机台下面后方,以节省空间
排 风 位于机台后部,自动风门设计
照明有 2组QDR制程区(普通白光40W)、IPA制程区加装防爆灯具(白光20W)
机台底部 有废液排放管 , 防漏盘结构及漏酸传感器