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PSS衬底（SPM）清洗机
产能要求： GaN工艺 150000片/月和PSS工艺 105000片/月，共计255000片/月（设计机台GaN工艺和PSS工艺各有1道，按照25分钟/run,50片/run。产能共计270000片/月,按照22小时/天， 26天/月计算）满足要求 ；
药液种类：超声波：去光阻液或ITO溶液；511溶液（H2SO4:H2O2:H2O=5:1:1）；稀HCl溶液（HCl:H2O=1:5） ；
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