七星华创 sevenstar 气体质量流量控制器

产品类型

普通型

流量量程

20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm

产品精度

±2％F.S.

重复精度

±0.2% FS

线性

±1％F.S.

响应时间

≤4sec

工作温度范围

(5~45)°C

耐压

3MPa

密封材料

氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene

输入输出信号

(0~5)VDC

电源

±15V

阀类型

常闭

温度系数

- 无 -

零点飘移指标

- 无 -

电气连接

D sub 15 pins Male

工作压差范围

(0.05～0.30) MPa（20slm ≤F.S.≤30slm）,(0.10～0.30) MPa（50slm m≤F.S.≤150slm）,(0.15～0.30) MPa（200slm ≤F.S.≤250slm）

漏率

1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）

标准接头形式

VCR1/2”,双卡套1/2”,双卡套1/4”(满量程≤60slm),双卡套Φ12,双卡套Φ6(满量程≤60slm),双卡套Φ8(满量程≤200slm),双卡套Φ10

表面化学成分

- 无 -

表面粗糙度

- 无 -

抗电磁干扰

- 无 -

重量

2.6Kg