七星华创 sevenstar 气体质量流量控制器

产品类型

高耐压型,抗电磁干扰

流量量程

5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm

产品精度

±1％F.S.

重复精度

±0.2% FS

线性

±0.5% F.S.

响应时间

≤10sec

工作温度范围

(5~45)°C

耐压

10MPa

密封材料

氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon

输入输出信号

(0~5)VDC

电源

±15V

阀类型

- 无 -

温度系数

- 无 -

零点飘移指标

- 无 -

电气连接

D sub 15 pins Male

工作压差范围

(0.2～0.6) MPa （10slm＜F.S.）,(0.2～0.8) MPa （F.S.≤10slm）

漏率

1×10-10atm•cc / sec He（1×10-11 Pa•m3 / sec He）

标准接头形式

双卡套1/8”(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ3(满量程＞10slm不适用),双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ10,双卡套3/8”,VCR1/4”,双卡套1/4”

表面化学成分

- 无 -

表面粗糙度

- 无 -

抗电磁干扰

CE

重量

1Kg