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产品型号 |
D07-7C |
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产品类型 |
普通型,抗电磁干扰 |
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流量量程 |
5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm |
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产品精度 |
±1.5％F.S. |
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重复精度 |
±0.2% FS |
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线性 |
±1％F.S. |
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响应时间 |
≤10sec |
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工作温度范围 |
(5~45)°C |
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耐压 |
3MPa |
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密封材料 |
氟橡胶Viton,氯丁橡胶(耐氨橡胶) Neoprene |
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输入输出信号 |
(0~5)VDC |
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电源 |
±15V |
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阀类型 |
常闭 |
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温度系数 |
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零点飘移指标 |
- 无 - |
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电气连接 |
D sub 15 pins Female |
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工作压差范围 |
(0.1～0.5) MPa |
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漏率 |
1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） |
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标准接头形式 |
双卡套Φ8,双卡套Φ6,双卡套Φ3,双卡套1/8”,φ4(内)×1软管接头,VCR1/4”,双卡套1/4”,φ6(内)×1软管接头 |
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表面化学成分 |
- 无 - |
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表面粗糙度 |
- 无 - |
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抗电磁干扰 |
CE |
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重量 |
1.1Kg |
