量 程:0~100ppb,0-1/10/100ppm 可选0~50/500ppb,0-5/50ppm O2 自动/手动调节。
传感器:Pico-lon 技术燃料电池—GPR-13-2000UHP。
准确度:量程的1%(在常温,常压下)。
分辨率:量程的0.5%
传感器寿命:18个月(在100ppm下)
线性度:R平方值>0.995
校准气:建议采用80%FS O2 in N2标准气.
响应时间:60秒达到90%
回复时间:15分钟从9ppm(1分钟)到10ppb
30分钟从1ppm(5分钟)到1ppb
物理特征
封装:台式13.9" x 9.9" x 13.4"
可选:面板安装,壁挂安装,19”支架安装
电器特征
认 证:ISO9001,CE认证。
显 示:大屏幕LCD显示,实时显示样气压力和温度。
控制键:带有四个防水按键,可方便地选择量程、校准、报警和系统设置功能。
智能性:量程自动切换功能,数据自动存储功能和图形显示,通过USB远端控制。
温漂抑制:带恒温控制系统,并带有自动压力和温度补偿功能。
输 出:RS232或USB数字接口,0~1V或隔离的4~20mA模拟输出,量程提示输出
报 警:两路继电器报警输出,电源失败报警输出,传感器失败报警输出。
电 源:220 V AC@50Hz。
操作条件
应用领域:半导体行业
测量介质:H2、 He,、碳氢化合物、惰性气体等
气路接口:进气口采用1/4"VCR接头,出气口采用1/4”卡套接头
压力:20~50psig(最大150psig)
温度:5~+45℃
流量:1~3 SCFH,推荐:2 SCFH(立方英尺/每小时)